超純水(UPW)，指水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度，且電阻率達到相關標準的水。通常電子行業應用較多的為電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm極限值（25℃）的水。在集成電路工業中超純水常用于半導體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固態電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的制作也都要使用超純水。超純水處理系統通常包括純水制備、純水的輸送和分配、純水的回收和處理。具體分為預處理系統（Pretreatment）、一次純水制備系統（Make up）、精處理系統（Polish）、分配系統（LOOP）—一次配&二次配、回收系統（Reclaim）和加藥系統（Dosing）幾部分組成；涉及到的水處理工藝設備包括換熱器、MMF、ACF、反滲透RO、UV殺菌器、TOC 分解機臺、EDI、2B3T、拋光混床、MB、MDG、超濾UF等。